진공 시스템은 대기압보다 낮은 압력 수준으로 제어된 환경을 생성하고 유지하도록 설계된 구성 요소의 복잡한 배열입니다. 이러한 시스템은 과학 연구 및 제조부터 전자 및 우주 탐사에 이르기까지 광범위한 산업 분야에 적용됩니다. 진공 시스템의 기능과 주요 구성 요소를 이해하는 것은 다양한 분야에서의 다양한 적용과 중요성을 파악하는 데 중요합니다.
진공 시스템의 기능:
기본적으로 진공 시스템은 정의된 공간에서 가스 분자를 제거하여 압력을 낮추고 제어된 저압 환경을 만드는 방식으로 작동합니다. 이는 원하는 진공 수준을 생성, 제어 및 유지하기 위해 함께 작동하는 일련의 상호 연결된 구성 요소를 통해 달성됩니다. 기본 원리는 가스 분자가 더 높은 압력 영역에서 더 낮은 압력 영역으로 이동하여 궁극적으로 시스템을 비울 수 있도록 하는 압력 구배를 생성하는 것입니다.
진공 펌프: 진공 펌프는 시스템에서 가스 분자를 제거하는 시스템의 핵심입니다. 다양한 유형의 진공 펌프가 있으며 각각 다른 압력 범위와 응용 분야에 적합합니다. 일반적인 유형은 다음과 같습니다.
용적형 펌프: 여기에는 가스 분자를 물리적으로 가두어 배기하는 회전 날개 펌프와 피스톤 펌프가 포함됩니다.
운동량 전달 펌프: 고속 회전을 사용하여 가스 분자를 시스템 밖으로 밀어내는 확산 펌프와 터보분자 펌프가 그 예입니다.
포획 펌프: 이는 차가운 표면이나 흡착제 물질의 가스 분자를 포획하는 크라이오펌프 및 흡착 펌프입니다.
진공 챔버: 진공 챔버는 압력 감소가 발생하는 밀폐된 공간입니다. 압력차를 견딜 수 있도록 설계되었으며 진공 펌프, 게이지 및 기타 구성 요소를 연결하기 위한 포트가 장착되어 있습니다.
압력 측정 및 제어: 진공 수준을 제어하고 유지하려면 정확한 압력 측정이 필수적입니다. 피라니 게이지, 이온화 게이지, 정전 용량 압력계와 같은 압력 게이지는 압력을 모니터링하는 데 사용됩니다. 제어 시스템은 원하는 압력 범위를 달성하기 위해 펌프 속도와 가스 흐름을 조절합니다.
밸브: 밸브는 가스 흐름을 제어하고 시스템의 여러 부분을 격리하며 유지 관리를 가능하게 하기 위해 시스템에 전략적으로 배치됩니다. 게이트 밸브, 버터플라이 밸브 및 볼 밸브는 일반적으로 가스 흐름을 조작하는 데 사용됩니다.
가스 유입구 및 배출구 포트: 이 포트는 스퍼터링, 화학 기상 증착, 이온 주입과 같은 공정을 위해 시스템에 가스를 쉽게 도입할 수 있도록 해줍니다. 또한 시스템의 환기를 제어할 수 있습니다.
필터 및 트랩: 필터와 트랩은 진공 시스템에서 미립자, 액체 및 원치 않는 가스를 포착하고 제거하는 데 사용됩니다. 콜드 트랩, 분자체 및 입자 필터는 오염 물질이 진공 챔버로 유입되는 것을 방지합니다.
씰 및 개스킷: 진공 환경의 무결성을 유지하기 위해 다양한 연결 지점에 고품질 씰과 개스킷이 사용됩니다. 이는 가스 누출을 방지하고 압력 구배를 유지합니다.
배압 펌프: 일부 진공 시스템에서는 배압 펌프가 더 높은 압력에서 더 많은 양의 가스를 처리하여 기본 진공 펌프를 보조하는 데 사용됩니다. 이는 펌프 효율성을 향상시키고 기본 펌프의 부하를 줄이는 데 도움이 됩니다.
배플 및 디퓨저: 이러한 구성 요소는 가스 흐름을 지시하고 시스템 내 가스 역학을 관리하여 난류를 줄이고 대피 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다.
액세서리: 용도에 따라 다양한 액세서리를 진공 시스템에 통합할 수 있습니다. 여기에는 시료 홀더, 가열 또는 냉각 요소, 현장 모니터링 및 분석을 위한 장비가 포함될 수 있습니다.
요약하면, 진공 시스템은 조화롭게 작동하는 특수 구성 요소의 사용을 통해 감소된 압력으로 제어된 환경을 조성함으로써 작동합니다. 진공 펌프는 핵심 구성 요소 역할을 하며, 진공 챔버, 압력 측정 및 제어 시스템, 밸브 및 기타 구성 요소는 원하는 진공 수준을 달성하고 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 이러한 구성 요소의 설계 및 통합은 반도체 제조, 연구 실험 또는 우주 시뮬레이션 등 특정 응용 분야에 따라 다릅니다. 진공 시스템 기술의 지속적인 발전으로 수많은 과학, 산업 및 기술 영역에서 당사의 역량이 향상됩니다.
